Pelesko, John A. Modeling MEMS and NEMS / John A. Pelesko and David H. Bernstein. - Boca Raton, FL : Chapman & Hall/CRC, 2003. - xxiii, 357 p. : il. ; 24 cm. Bibliografía. Indices ISBN: 1584883065 Subjects--Topical Terms: Sistemas microelectromecánicos--Modelos matemáticos.