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		Modeling MEMS and NEMS / John A. Pelesko and David H. Bernstein. por Pelesko, John A \| Bernstein, David H. Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: Boca Raton, FL : Chapman & Hall/CRC, 2003Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: 1 Signatura topográfica: 621.3 P 358.
		Reliability of MEMS / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya. por Tsuchiya, Toshiyuki \| Tabata, Osamu, 1956-. Series Advanced micro & nanosystems ; v.6Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: Weinheim : Wiley-VCH, c2008Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: 1 Signatura topográfica: 621.3 0 74.

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